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マイクロフォーカスX線検査装置
TOSMICRON-S5000 シリーズ (スタンダード傾斜モデル)
■ 特徴

●新開発の開放管マイクロフォーカス搭載。フィラメントは、従来の約3倍長寿命(当社比)を実現。

●TOSMICRONーSシリーズ共通の高機能ソフトウェアと高速・高精度メカ搭載。快適な操作性と高機能を両立。

●最大60°までのセンサ傾斜により、斜め方向から透視可能。シンクロトラッキングによる補正追従機能を標準装備。

●大型テーブル(600×350mm)対応可能。

TOSMICRON-S5000 シリーズ (傾斜型高機能タイプ)
■ 適応分野

●IC・電子部品の高拡大検査

●表面実装部品の接合部検査

●小型精密部品の検査

■ シンクロトラッキング機能とは?

シンクロトラッキング機能による観察ポイント追従機能
シンクロトラッキング(SYNCHROーTRACKING)機能とは、斜め方向からの透視、拡大率の変更の際に観察ポイント位置を基準に自動追従できる機能です。また、傾斜しても一定輝度の画像が得られます。この機能により観察ポイントを逃さすスムーズな検査が可能です。

センサが傾斜しても観察ポイントの幾何条件が変わらないように上下・水平方向に追従しますので、拡大率は一定です。 傾斜時、拡大率を変えるためテーブルを上下しても、水平方向に追従しますので観察ポイントを逃しません。

◆センサが傾斜しても観察ポイントの幾何条件が変わらないように上下・水平方向に追従しますので、拡大率は一定です。

◆傾斜時、拡大率を変えるためテーブルを上下しても、水平方向に追従しますので観察ポイントを逃しません。

■透視画像例

透視画像例 従来の自動追従方法

従来の自動追従方法
傾斜すると拡大率が低下し、画像の輝度も落ちる。

シンクロトラッキング法

シンクロトラッキング法
傾斜しても拡大率・画像の輝度を維持できる。

仕様
主な仕様
モデル TOSMICRONーS5110IN
X線発生装置 開放管,最大110kV,200μA,公称最小焦点3μm
センサ 4/2インチI.I.
最大拡大率(テーブル面) 約525倍
傾斜機能 センサ傾斜0〜60°
試料テーブルサイズ X410mm×Y360mm(有効撮影範囲350×300mm)(標準タイプ)
X600mm×Y350mm(ラージタイプ)
装置外形寸法(本体) W1150×H1670×D1430mm(標準タイプ)
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