■マウスのみで操作できる操作画面

■検査効率が大幅ＵＰ！

TOSMICRON-Sシリーズでは、高速・高精度テーブルと多彩な自動送り機能により、優れた検査効率を実現しました。

高速・高精度テーブルの採用

試料テーブルは高い剛性と精度を実現。検査ポイントの最長距離も瞬時に移動し、Ｘ線の画像を表示できます。
また精度が高いことにより、検査位置のずれもおこしにくいため、テーブルの移動距離によって寸法を測定するリニア計測機能も有しています。

十字カーソルを測定箇所の始点に合わせ、終点まで試料テーブルを移動させて絶対距離を測定します。
＜リニア計測例＞

試料テーブル(最長距離を瞬時に移動)

試料テーブル自動送り機能（オプション）
試料テーブルをあらかじめ設定した条件で自動送りする機能です。トレイに入れた多数の試料を一定ピッチ送りで検査したり、基板の任意の検査ポイントを自動で位置決めできます。また、検査画像を自動保存したり判定結果（NG・OK)の入力・表示・保存も可能です。

＜主な自動送り機能＞
・複数トレイ対応ピッチ送り（トレイ間ピッチ入力可能）
・ランダム送り（任意検査ポイントの検査条件登録可能）
・ランダムピッチ送り　（任意検査ポイントごとに、一定ピッチ送りが可能）

複数トレイピッチ自動送り

トレイに並べたサンプルを効率よく検査できます。各サンプル間と各トレイ間のピッチと個数を入力して自動送りが可能です。（右図では、サンプルは3個×3列，トレイは２個×２列になっています。）

ランダムピッチ送り（オプション）

検査位置をランダムに設定でき、また設定した検査位置からピッチ送りを実行できる機能です。基板に実装されたＢＧＡの半田ボールを効率よく検査できます。

自動送り条件入力・判定結果の保存

テーブル自動送り機能では、画像処理の撮影条件、自動送りの有効・無効、自動送り時間、画像を保存有無などが条件設定できます。また、判定結果を保存したり、画像を再表示することができます。

■TOSMICRON-Sシリーズ画像例

TOSMICRON-Sシリーズは、コンパクトな外形ですが、Ｘ線発生器とセンサ間の距離を十分に確保しているため、高倍率の画像を実現しました。

FDタイプとINタイプ

TOSMICRON-Ｓシリーズでは、FDタイプ（フラットパネル搭載型）とINタイプ（Ｉ．Ｉ．搭載型）の両方がご提案可能です。
FDタイプでは歪みのない鮮明な画像が、またIN（Ｉ．Ｉ．搭載型）では、高感度でコントラストのよい画像が得られます。お客様のニーズに合わせて両タイプをご提案できます。

300倍の高倍率

密封型マイクロフォーカスとしてはクラストップの拡大率を得られます。特にＦＤタイプ（TOSMICRONｰＳ４０９０FD）では、300倍以上の鮮明な高拡大画像を実現できます。

高品位の傾斜画像

センサ傾斜型のタイプ（TOSMICRONｰS5000シリーズ）では、傾斜しても拡大率が確保でき、かつ画像の一定輝度を保てるようシンクロトラッキング方式を採用しています。

付帯情報印刷機能

X線透視画像とその撮影条件・画像処理の条件などを同時にプリントアウトできる印刷用フォーマットを持っています。

付帯情報付印刷画面

画像処理アプリケーション

当社の多彩なオリジナルソフトウェアにより、お客様のニーズにお応えします。
◆主な機能
・積分／アベレージング／差分／各種フィルタ
・画像再生／機構条件再生
・測定機能(2点間／ワイヤ流れ／R･角度／濡れ性／ボイド計測) ・プロフィール／3次元表示　など

その他オプション

・2軸回転装置
・レーザポインタ
・各種試料テーブル（カーボン、重量物用）