TOSHIBA CAT非破壊検査システム 東芝ITコントロールシステムシステム株式会社
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スペーサーTXLamino

 
東芝ナノフォーカスX線検査システム ラミノCT搭載
 TXLamino(ティーエックスラミノ)
TXLamino

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4Kモニタ & メガピクセル X線検出器搭載

 特 徴
 

高分解能
   ナノフォーカスX線発生装置搭載
   高精細X線イメージインテンシファイア
高解像度

   4メガピクセルカメラ搭載
 
高画質

   4Kモニタ採用
 

傾斜・回転時の視野中心自動追従
 
 
ラミノCT (斜めCT) 搭載
 

 
直交CT オプション
 
 
 
img  画 像
 
   ワイヤ
wire01 wire02
BGA
bga01
   ワイヤ拡大 wire03 wire04 BGA拡大 bga02
 
img  仕 様
 
 X線発生装置  透過解放型
 管電圧 / 管電流設定(最大)  160kV/200μA
 X線焦点寸法  0.25μm
 X線センサ  高精細X線I.I.(4/2インチ)*2
 カメラ有効画素数  400万画素
 カメラ出力諧調  16bit
 X線幾何学倍率  2000倍(理論値)
 機構部  6軸傾斜・回転型
 試料テーブルX / Yストローク  300mm×300mm
 試料テーブル回転ストローク  0°〜360°(水平回転)
 X線ディテクタ傾斜ストローク  0°〜60°
 視野追従機能  傾斜・回転時の視野中心自動追従機能
 ラミノCT(斜めCT)  CTデータ収集(任意傾斜角度)
 寸法

 検査室:約W1600×D1600×H2000mm
 操作卓:約W1600×D800×H(天板上面)750mm

 漏洩線量  1μSv/h以下
 用途  高密度実装基板、各種電子部品 等
 
img  CT機能オプション
 
 CT機能  仕様
 直交CT(コーンビームCT)  直交CTユニット(試料テーブル交換方式)
 
img  画像解析・計測機能
 
 計測機能  濡れ性、ワイヤ流れ、2点間寸法
 ボイド計測、BGAボイド率測定
 解析機能  疑似カラー、プロフィール、ヒストグラム、3次元表示
 

弊社製品の販売に関するお問い合わせは下記担当までお願いいたします。
検査・メカトロシステム事業部  
TEL:03-4574-6881 FAX:03-3344-1032  フォームでのお問い合わせ
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