TOSHIBA CAT非破壊検査システム 東芝ITコントロールシステムシステム株式会社
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マイクロフォーカスX線検査装置
TOSMICRON-SH6000 シリーズ (ハイエンドモデル)
■ 特徴

●高拡大率
X線幾何学倍率最大1200倍

●SYNCHRO-TRACKING搭載
検査している着目ポイントを逃さず、あらゆる 角度から検査可能(60度傾斜、360度回転)

●優れた操作性
すべての操作はマウスから可能。高精度試料ステージの組合せにより、瞬時に位置決め可能

●多彩なソフトウェア
積分処理やコントラスト強調などの豊富な画像処理。マップ作成、ピッチ送り、検査条件再生など多彩な機能

●ラミノCT
任意の位置での斜め観察、CT撮影が可能

●デバイス加熱ユニット(オプション)
BGAなどの半田の融解状態をリアルタイムで観察可能。動画保存も可能

TOSMICRON−SH6160IN
TOSMICRON−SH6160IN
■ 適応分野

●ICパッケージ内部検査 :
チップの濡れ性、パッケージボイド、ボンディングワイヤ

●実装済みのプリント基板 :
はんだ付け検査(BGA、CSP、チップ部品)

●セラミックス、プラスチック、金属部品 :
す、クラック、異物混入などの検査

■ 透視画像例

BGA拡大画像
BGA拡大画像
仕様
主な仕様
モデル TOSMICRON-SH6160IN
X線発生装置 160kV  200μA
焦点寸法 1μm
X線センサ X線I.I.
X線幾何学倍率 1200倍
試料テーブルサイズ 300mm×300mm
外形寸法 1300mm(W)×1650mm(D)×1945mm(H)
質量 約2200kg
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