TOSHIBA CAT非破壊検査システム 東芝ITコントロールシステムシステム株式会社
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結晶方位測定装置
SUシリーズ
SUシリーズ

■ 特徴

独自の測角機構を採用。高精度測定。

単結晶(Si、GaAs、GaP、InP、InSb)インゴットのVノッチ結晶面方位、インゴット軸方位などを高精度に測定します。インゴットの外観、形状、重量などを同時に検査するタイプもあります。 また、適応分野によりシリーズ化されています。
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SUシリーズ

■ 適応分野

●オンラインで移動体を透視検査

●変形中、運動中の物体をストロボ撮影のように透視検査

●プラスチックス、CFRPなどの低吸収材にも

※当社製パルスX線発生装置と組み合わせると、パルスX線による撮像ができます。

仕様
型式 対象 測定項目 用途
SU−001 インゴット Vノッチ(オリフラ面)方位 Vノッチ加工用円筒研削機に本装置を取り付けて、Vノッチ方位を決定します。
・ 測定精度:±5´
・ 対象ワークサイズ:4"〜12"
SU−002 インゴット カット面方位(軸方位) インゴットをワイヤーソーでウェハに加工する場合に軸方位を測定します。
・ 測定精度:±1´
・ 対象ワークサイズ:6"〜12"
SU−003 ウェハ Vノッチ(オリフラ面)方位 カット面方位(軸方位) ウェハのカット面方位およびVノッチ方位と所定の結晶面との傾きを測定し、基準値と比較して良/不良を判定します。
・ 測定精度:±1´
・ 対象ワークサイズ:4"〜12"
SU−005 インゴット Vノッチ(オリフラ面)方位 カット面方位(軸方位)
外観、形状、重量
Vノッチ加工後のインゴットをワイヤーソーでウェハに加工する場合に、軸方位を測定するとともにVノッチの形状・深さ・結晶方位、インゴットの欠け、傷、切削残、直径、重量を測定します。
・測定精度:±1´(カット面) ±3´(Vノッチ
SU−020 インゴット Vノッチ(オリフラ面)方位 カット面方位(軸方位)
Vノッチ加工後のインゴットをワイヤーソーでウェハに加工する場合、軸方位、Vノッチの結晶方位を同時に測定します。
(側面の測定のみで軸方位を求めます。特開平11-94772出願中)
・測定精度:±1´(カット面) ±3´(Vノッチ面)
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